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分享銅管退火爐的故障解決方法

作者: 來源: 日期:2019/12/30 人氣:754
        退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修銅管退火爐在使用過程中難免會有磕磕碰碰,難免會出現(xiàn)一些故障,遇到這種情況,大家都會想著如何去解決。接下來,我們就以銅管退火爐為例,來為大家好好的介紹其故障解決方法吧。


        1、斷相故障的可能性:臺車接觸欠好;加熱元件燒斷;熔斷器燒毀。
        修理計劃:調(diào)整接頭繃簧,用砂紙打磨接頭接觸面;用不銹鋼焊條焊接加熱元件;替換熔斷器 。
        2、外表數(shù)據(jù)反常的可能性:外表集成電路損壞;可控硅電器燒毀。 
        修理計劃:替換外表及可控硅。 
        3、臺車移動不暢,呈現(xiàn)阻力狀況:爐內(nèi)階梯磚與臺車階梯磚擦死;導軌有凹位、太光滑;傳動鏈條太松。 
        修理計劃:調(diào)整傳動鏈條長度;查看卡死方位,是否磚移位,將磚復位;用焊條補平。
        4、保溫性欠好:臺車進入不到位;爐門與爐口不密合。 
        修理計劃:查看爐門是否間隙過大,及時修復;調(diào)整爐門的滑輪,使爐門封閉時緊密。
        以上就是對于銅管退火爐的相關(guān)故障解決方法的分析,主要就是說到了以上的部分,希望對大家有所幫助。


下一個:銅管退火爐會爐況失常的解決方法分析
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